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招标正文
公告概要：
| 公告信息： | |||
| 采购项目名称 | 张江实验室（ (略) 上 (略) ）硅光子市级重大专项 * mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发晶圆自动清洗系统和晶圆片喷雾清洗设备采购项目 | ||
| 品目 | 货物/通用设备/电子和通信测量仪器/元件器件参数测量仪/集成电路参数测量仪 | ||
| 采购单位 | (略) 上 (略) | ||
| 行政区域 | (略) 市 | 公告时间 | * 日 * : * |
| (略) 日期 | * 日 | 中标日期 | * 日 |
| 评审专家名单 | 沈培坚、谈进、张惠芬、张轩雄、李斌 | ||
| 总中标金额 | ￥ * . *** 万元（人民币） | ||
| 联系人及联系方式： | |||
| 项目联系人 | 赵丽莉 | ||
| 项目联系电话 | * - * - *** × * | ||
| 采购单位 | (略) 上 (略) | ||
| 采购单位地址 | (略) 市 (略) 区海科路 * 号 | ||
| 采购单位联系方式 | 陈洁 *** | ||
| 代理机构名称 | (略) 有限公司 | ||
| 代理机构地址 | 中国 (略) 西路 * 号美丽园大厦 * 楼 | ||
| 代理机构联系方式 | 赵丽莉 * - * - *** × * | ||
(略) 有限公 (略) 上 (略) 的委托，就“张江实验室（ (略) 上 (略) ）硅光子市级重大专项 * mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发晶圆自动清洗系统和晶圆片喷雾清洗设备采购项目”项目（项目编号： *** ）组织采购，评标工作已经结束，中标结果如下：
* 、项目信息
项目编号： ***
项目名称：张江实验室（ (略) 上 (略) ）硅光子市级重大专项 * mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发晶圆自动清洗系统和晶圆片喷雾清洗设备采购项目
项目联系人：赵丽莉
联系方式： * - * - *** × *
* 、采购单位信息
采购单位名称： (略) 上 (略)
采购单位地址： (略) 市 (略) 区海科路 * 号
采购单位联系方式：陈洁 ***
* 、项目用途、简要技术要 (略) 日期：
本次采购货物为：晶圆自动清洗系统： * 台/套，用于高温氮化硅介质膜热生长、 * 氧化硅介质膜热生长工艺前的清洗，化学液包括DHF、SPM、SC1、SC2；晶圆片喷雾清洗设备： * 台/套，用于干法刻蚀、离子注入去胶后的清洗，化学液包括DHF、SPM、SC1。
* 、采购代理机构信息
采购代理机构全称： (略) 有限公司
采购代理机构地址：中国 (略) 西路 * 号美丽园大厦 * 楼
采购代理机构联系方式：赵丽莉 * - * - *** × *
* 、中标信息
招标公告日期： * 日
中标日期： * 日
总中标金额： * .0 万元（人民币）
中标供应商名称、联系地址及中标金额：
| 序号 | 中标供应商名称 | 中标供应商联系地址 | 中标金额(万元) |
| 1 | (略) 北方华 (略) | (略) 市 (略) 经济技术开发区 (略) 大道8号 | * . *** |
本项目招标代理费总金额：5. * 万元（人民币）
本项目招标代理费收费标准：
根据国家发改委 * 号文货物类标准收费下浮 * %后收取。
评审专家名单：
沈培坚、谈进、张惠芬、张轩雄、李斌
中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：
晶圆自动清洗系统： * 台/套；规格型号：Bpure-WE * AHF ： *** . * 元；
晶圆片喷雾清洗设备： * 台/套；规格型号：Bpure-WC * ARC: *** . * 。
* 、其它补充事宜
温馨提示：本招标项目仅供付费会员查阅，您的权限不能浏览详细信息,联系工作人员办理会员入网事宜，成为正式会员后方可获取详细的招标公告、报名表格、项目附件及部分项目招标文件等。
联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com
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