微电子企业日常保洁——上海保洁公司【格瑞戴西】培训资料

一、微电子企业日常保洁特殊性

电子企业、微电子企业是当前对洁净级别要求最高的企业，按照洁净程度不同，可分为普通区域和受控洁净区、洁净室、气闸室等。对普通区域的保洁，按照通常的写字楼的要求 进行即可，而对于受控洁净区、洁净室、气闸室等洁净级别较高的区域就必须有相应的专业知识和相应的工艺技术才能做好保洁服务。下面，就受控洁净区、洁净室的日常保洁做一些 论述。

二、微电子企业洁净室设计理念

（一）  洁净室的基本概念

洁净技术是通过工程技术方面的各种设施和严格管理，使室内微粒子含量、气流、压力等控制在一定范围内，这种房间空间称为洁净室。

（二）  空气中的微粒子

空气中的微粒子有生物粒子和颗粒物，它们使微电子生产过程、制药过程中产生静电， 并且污染产品，造成产品的缺陷；在医院手术室中的污染会导致手术失败，危及生命。因此空气中的微粒子是洁净控制区主要的清除对象。电子企业的防静电、防尘要求级别越高，空 气中允许的微粒子含量就越低。下面我们就来认识一下空气中的微粒子。

1.       生物粒子

(1)    细菌、藻类：藻类与其他微生物的不同之处在于，它能进行光合作用。藻类在污 染控制和洁净室领域一般不是问题。

(2)    真菌类：在污染控制和洁净室领域，真菌是第二大微生物污染源，并会成为一种 严重威胁。真菌与大多数细菌相比，对养分的要求更简单，并能够在没有大量水的条件下生长。

(3)    病毒：病毒在微生物中处在很独特的位置。因为按照一般所接受的概念，不能将 其分类为活的有机生物。它们的构造相当简单，常常是由一层蛋白质内的单个DNA和RNA 分子组成，比微生物小得多。

(4)    原生物：由于原生物差不多总是与天然形成的水环境相关联，所以它们在污染控 制和洁净室领域无足轻重。

2.       颗粒物

颗粒物（particulate matter)又称尘，是大气中的固体或液体颗粒状物质。颗粒物可分为一次颗粒物和二次颗粒物。一次颗粒物是由天然污染源和人为污染源释放到大气中直接造 成污染的颗粒物，例如土壤粒子、海盐粒子、燃烧烟尘等。二次颗粒物是由大气中某些污染气体组分（如二氧化硫、氮氧化物、碳氢化合物等）之间，或这些组分与大气中的正常组 分（如氧气）之间通过光化学氧化反应、催化氧化反应或其他化学反应转化生成的颗粒物，例如二氧化硫转化生成硫酸盐。

电子产品洁净厂房对空气洁净度和各类杂质的控制有严格的要求。半导体集成电路制造是一种高科技制造技术，为了获得微电子产品的高质量和高成品率，必须严格控制芯片缺 陷。而导致芯片缺陷的因素十分复杂，其污染源可能来自空气中的粒子或加工过程中使用的各类工艺介质中的杂质、清洗用纯水中的杂质以及工具等带来的杂质污染等。生产环境控制 就是对与产品生产过程相关的各类污染物进行控制。其中，对生产环境中微粒的控制是十分重要的内容。当前45nm的极大规模集成电路已投人生产，要求洁净室的空气洁净度控制在IS01级或IS02级，微粒粒径控制在0.03 pm。随着集成度的不断提高、加工尺寸日益微细 化，集成电路生产过程不仅对空气洁净度等级提出越来越高的要求，也对整个产品生产过程中微粒的黏附、化学污染物、芯片的损伤等问题提出越来越高的要求。近年来的实践表明， 带人洁净室或洁净室产生的污染以及空气中的NO、、SOt、Na+、Cl一等，超细玻璃纤维制品中的硼和DOP粒子，操作人员自身产生的NH4+、Na+等，洁净室建造材料散发的各种有机 物、金属离子等，生产过程使用溶剂、洗涤液散发的各种化学污染物等对生产过程都有很大的影响。

（三）  洁净技术的运用

洁净技术帮助人类实现了很多梦想，应用领域越来越广，正发挥着越来越大的作用。

1.       微电子工业

微电子工业是当前对洁净室要求最高工业洁净业。此外，如现代工业中的液晶、光纤等的生产，同样均有洁净度的要求。

2.       医药工业、宇航工业、精密机械工业、仪器仪表工业、精细化学工业等，也要应用到洁净技术。

3.       其他机构，如医院、医学试验室等也需运用洁净技术。

三、洁净室综合要求与原则

洁净技术已在全国范围内实施。微电子企业的生产环境提出了与工艺过程相对应的不同洁净级别要求，限定了空气中尘埃粒子的大小和含量；室内微粒子含量、气流、压力等也需 控制在一定范围内，即要求在洁净室中进行生产。

洁净室是一项综合性技术，作为一个合理的设计，不仅要考虑净化空调装置和设施，而且在设计洁净室时，对于工程选址、工艺布置、典型的洁净室人身净化处理的流程，也必须 满足以下基本要求。

（一）  洁净室建筑要求

1.       环境条件

(1)        具有合理的人、材料、机械的流动路线。

(2)        工艺区域和维修区域划分明确。

(3)        有防止外部环境对室内污染的手段。

2.       灵活性

(1)        适应工艺的发展与扩大。

(2)        工艺区域与维修区域有调整的可能。

(3)        建筑间隔的变更与洁净空间有调整的可能性。

3.       安全性

(1)        安全通路的设计合理。

(2)        有毒药物的存放安全。

4.       运转条件

(1)        防止振动的设计要求合理。

(2)        防止噪声的设计要求合理。

（二）  洁净室设备的要求

1.       环境妻求

(1)        确保满足空气洁净度的技术实施要求。

(2)        满足温湿度控制与洁净度控制手段的一致性的要求。

(3)        能维持室内正压要求，合理确定送、排风量。

(4)        发生有害气体时能排放与处理。

(5)        能防止产生振动与噪声。

2.       灵活性：满足工艺发展的要求。

3.       安全性

(1)       产生废品、废气的处理设施完备。

(2)       排烟设备、消防设备的设置与报警系统完善。

4.       运行条件

(1)       有无备用设备。

(2)       瞬间停电可防止产生不良后果。

(3)       维护维修方便。

（三）洁净室设计综合原则

1.       洁净工程选址

(1)       周围环境较清洁，绿化较好。

(2)       远离铁路、公路、机场（尤其是有防震要求的洁净室更要远离这些场所）。

(3)       若受条件限制，必须位于工业污染或灰尘较严重的地区，应处于全年最多风向的 上风侧。

(4)       各区路面尽量选用坚固、起尘少的材料。

2.       工艺布置

(1)       在不影响生产情况下，应尽量将洁净度要求相同的洁净室安排在一起。

(2)       室内只布置必要的工艺设备，容易产生灰尘和有害气体的工艺设备尽量布置在洁 净室外部。

(3)       工艺用的易燃、易爆等气体容器不要设在洁净室内。

(4)       在同一洁净室内，尽量将洁净度要求高的工作布置在洁净气流首先到达的区域。

(5)       产生污染的工序，布置在靠近回、排风口的位置。

(6)       洁净室的设备及家具采用光滑、不容易起尘的材料。

四、洁净室日常管理和维护原则

1.       洁净室有人员进入，洁净度就会随之而改变。人的外层皮肤不断地向四周环境释放粒子，之所以发生这一情况，是由于外皮细胞连续不断地被新细胞替换。服装与首饰等的摩 擦，会增加外皮释放的粒子数量。由于人员工作时会有更多的活动，所以释放的粒子数量也就随着增加。

2.       人污染发生器，因为不可能把人完全密封在微过滤器中，也不可能给人塑造一个完整的空气动力学的形状，所以人总是对周围的环境产生影响。在污染控制领域，化妆品常常 会造成问题。所以，洁净室一般不允许人员使用化妆品。

3.       受控洁净区及洁净室都是禁止吸烟的。即使停止吸烟后，粒子仍会存留在气管和肺中，并不停地从人体内向周围空气中散发。这就意味着吸烟的人是一个强大的粒子产生器。

4.       服务与维修人员的活动也会降低洁净室的洁净度，克服这个问题有两种方法：一是将所有需要维修的物件全部放置到洁净室外的服务区；二是如果设备无法移出洁净室，就在 洁净室内进行维修，但要求维修工作保持在最低程度。对进入洁净室的服务人员，特别是那些从洁净区之外进人洁净室的人员，都应按正确的步骤进行培训，以将污染可能降至最低。 气流方式以及工艺产生又扩散开来的污染物，会影响工艺生产的结果。

5.       为保证人员、生产工艺与洁净室之间的有效互动，既需要训练有素的人员，又需要洁净室的物流记录，还需要宽敞的存储区、宽大的摆放位置，及有序的洁净设备存放区、宽敞的气闸和更衣室。

五、洁净室和洁净区工作指南

（一）  一般要求

1.     注重手、指甲、脸部的清洁卫生。人员卫生极其重要。

2.      精心挑选设计精良的洁净服装系统，并以正确的方式穿着，以保证其整体的防护性能。

3.      进人洁净室前必须清洗眼镜并加以消毒，眼镜的例行清洗很容易被忘记。

4.      应尽量保持部件与工具洁净。

5.      工作只能在洁净的表面上进行。

6.     禁止吸烟或使用鼻烟。与不吸烟者相比，吸烟者或使用鼻烟者会向空中多释放出几 百万个粒子。

7.      洁净室内不得梳头，甚至不能碰头发。

8.      室内一般不允许使用化妆品。所有化妆品都有粒子附着在皮肤上。如果说话、咳嗽、打喷嚏、触摸一件物品，这些粒子就会从皮肤上掉落下来而成为污染物。

9.      禁止使用指甲油。因为指甲油比指甲硬，时间长了就会出现裂痕，尘埃与微生物就有可能藏身其中，并到处传播。

10.     室内禁止佩戴首饰及手表。因为它们难以清洗，并可能造成污染。

11.     洁净室内禁止吃喝，禁止咀嚼口香糖或糖果。

12.     不能把洁净服提来提去，人员不能触摸或翻动洁净服。

13.     要避免一切不必要的活动。增加身体的活动会增加体表散发的粒子。人员不必要的活动会使周围空气形成涡流。

（二）  人员卫生要求

1.     每个人员应对自己个人的清洁卫生负责。

2.    人员是洁净生产区主要的污染源之一。从人体脱落的表皮细胞是“死”粒子，但是 常常会沾有细菌及其他微生物，因此人员要避免接触设备和产品。

3.    除定期进行盆浴或淋浴外，还应定期洗头。

4.       手是一大污染源，手是将污染物从一个地方传播到另一个地方的罪魁祸首之一。

5.      口腔也是一个主要的污染源，因此好的口腔卫生至关重要。

（三）  与人相关的污染风险因素

1.     人员的选择。

2.      人员的教育与培训。

3.      洁净室的安全要求。

4.      人员的行为和人员卫生。

5.      人员健康状况。

6.      进人洁净室最低数量人员。

7.      最大占用程度（最大允许人员数量）。

8.      进出规则。

9.       人流进出洁净室的通道。

（四）洁净室工作一般规定

每个洁净室必须有各自文件形式的规定及工作步骤。下面提到的一般性规定，适用于所 有的洁净室，而不专门考虑在某一特定洁净室内进行的特定工作步骤的具体特点。

1.     洁净室内只能有必要人员。室内人员越多，污染水平越高。

2.      只允许经过培训的人员在洁净室工作，只有具备特定工作所需技能的人员，才允许进人洁净室。

3.      不允许工作人员将任何可能产生污染的东西带人洁净室。只有洁净室内工作所必须的物品，才允许带人并且要采取防污染措施。

洁净室内不允许有下述物品：

(1)       食品、饮料、糖果、口香糖。

(2)       瓶瓶罐罐（非用品）。

(3)       香烟、烟斗、鼻烟。

(4)       收音机、唱片机、袖珍录音机。

(5)       用木材、橡胶、纸、皮革、棉花及其他天然材料制成的物品。

(6)       非洁净室专用纸，包括报纸、杂志、书籍、纸巾。

(7)       铅笔、橡皮及可释放粒子的书写用品，比如纤维笔。

4.     须随手关门。开门会使室内压力降低，这会造成洁净室气流的不良运动。

5.      开关门的动作都要慢。快速关门会增加从洁净程度较低区域流人洁净室的空气量。为控制开关门的速度，可以在门上安装闭门器或弹簧。

6.      通过气闸的两扇门时，只有在第一道门完全关闭后，再打开第二道门。所谓的联锁装置就是使两道门不能同时打开。

7.      不通过更衣室就无法进人洁净室。更衣室不仅仅用于更衣，它是洁净程度较低的外部区域与洁净程度较高的内部生产区域之间的缓冲区。不得使用像紧急出口一类的、可以从 生产区直接到达外部洁净度较低区域的出口，这种出口可能会造成污染物从外部空气到洁净室内部空气间的迅速转移。

8.     洁净室应永远保持清洁整齐。不整齐的洁净室绝不会洁净。

9.      相对生产工艺而言，人员应处在正确的位置。比如，斜靠在产品上是不好的习惯，因为这会使洁净服上的“死”粒子和微生物粒子掉落在产品上及产品的周围。在单向流中 工作的人员，不能直接坐在单向流中，因为这会使气流将服装内松散粒子吹落到空气中。对洁净室中采用的工作方法，事先认真作好计划，才能使污染的风险降至最小。

10.    应认真考虑产品的移动方法，遥控操作方法较可取，因为它不需要搬运产品。洁净室工作常常使用手套，但手套也可能成为污染源。

11-在洁净室内移动物品时，不得使该物品与服装或其他物品接触。

12.    在靠近产品的位置工作时，应避免讲话。即使使用面罩，从鼻和嘴散发出的粒子仍有穿过或绕过面具而接触产品的危险。如果打喷嚏或咳嗽无法避免，就应当避开产品。打完 喷嚏或咳嗽完之后，应更新面罩。面罩应能把嘴鼻都罩住。

13.    避免接触洁净室的表面。即使洁净室本身是洁净的，洁净室内的表面和设备表面仍可能是受到污染的。戴着手套的手要离开洁净服，以降低污染手套的危险。

14.     应定期清洗洁净室手套，以减少接触和传播污染物的风险。手套清洗可以使用经过

过滤的70%浓度的乙醇或异丙醇。这两种酒精都可以使用，因为它们挥发后均无残留物。

15.      洁净室使用的抹布只能用一次或只能按事先定好的次数使用，并应在用完以后抛弃。用抹布进行清洁时，应使用摆动幅度大而直的动作，动作与动作之间没有重叠。

16.      在洁净室工作，应使用平稳、认真考虑好的动作。快速凌乱的动作会使室内悬浮粒子浓度大大增加。

17.      留在洁净室内的产品应放在密封柜中或放在瓶内，以使物品或产品与污染物接触的风险降至最小。最好的办法是将其保存在层流工作台或安全工作台中。

18.      废弃的物品应放人专门设计的容器内，然后定期移出室外。

19.      应使用合适的方法，对洁净室进行洁净，有的情况下还要对洁净室进行消毒。

20.      进人洁净室的人必须知道他的责任，并受过各种洁净室专业技能的专门培训，懂得洁净室内所有系统的功能。

21.      发生重大事故时，比如洁净室内外发生火灾、爆炸、断电等，所有人员应快速有序地行动。出现紧急情况，比如打破了有毒的或无毒的材料，有个别员工不适，或其他类似情 况等，员工都应知道应如何采取行动，并保持镇定。

22.      进入洁净室的人员，必须对其穿着的洁净服有足够的认知。

23.      所有在洁净室工作的人员，不论其工作内容如何，必须穿着适当的洁净室服装。

24.      用于无菌生产的洁净室灭菌工作服，未经洗涤和再灭菌不得再次使用。

25.      在灭菌区工作的人员，必须完全了解并遵守各种灭菌、消毒步骤。

26.      在洁净室工作的人员，不得返回气闸室。

27.      在气闸室中，应放有塑料袋，可将洁净服放人袋中以便隔离和运输。这样，就可以将用过的洁净服输送到洗涤区，而没有污染产品或人员的危险。

28.      从整个系统的舒适性和有效性出发，决定一次可进入气闸室人员的数量。

29.      钱包、手袋等个人物品不得带人洁净室或气闸室。

30.      身体不适的人员，特别是腹部、鼻、喉咙不适者，不应进人洁净区。

31.      所有与洁净室外人员的语言沟通，全部都要通过内线电话或内部通讯系统进行。决不能把气闸室和通道当成洁净室与生产区外沟通的通道。

32.      洁净室内禁止使用化妆品，禁止佩戴戒指、首饰和表。

33.      将量杯、烧瓶及其他用品带人洁净室前，必须按照既定步骤进行清洁与灭菌。

34.      洁净室内只能使用长纤维制作的抹布，目前使用最广泛的是合成材料抹布。传统的家用拖布、刷子及其他物品，决不能用于洁净室，洁净室要用一次性无尘布、无尘纸、一次 性帽子及口罩。

六、洁净区卫生操作流程及操作注意事项

进人洁净区时必须严格按照更衣程序进行更衣、换鞋（不同区域的鞋子按规定摆放在相应的位置上）洗手消毒穿洁净上衣和裤子、鞋套（先上后下），戴口罩（穿戴完毕 后，在镜子面前整理着装，确保头发、胡须和里边的衣服不外露）•-进人缓冲间，手部消毒洁净区。

进出洁净区时，应随手关门，不能同时打开连通缓冲间和洁净级别不同的通道，以免影响洁净区内洁净空气的流通方式。在洁净室工作时避免大声喧哗，禁止打闹嬉戏；操作应轻 拿轻放，称量物料须第二人复核，物料称量配置后及时清理工作台面，随时保持工作区域的

卫生清洁与整洁。

要加强对生产设备的养护工作，适时对设备转动部件进行润滑，进行电路检查和易磨损部件检查更换等，禁止对设备乱敲乱打或故意损坏设备。生产用的工器具和清洁用具应分类 使用，定点存放。清洁用具、抹布不能交叉混用，使用后清洁干净统一存放在洁具间。工器具应集中在规定位置摆放，使用后清洁干净及时放回原来位置上，时刻保持生产区域的整洁 有序。生产使用的各类记录应在岗位明显位置放置并分类，便于工作人员及时记录并进行复核，生产结束后，记录由岗位专人整理，负责人审核后交由相关部门人员存档。

七、某电子企业保洁服务实例

某公司为某微电子企业做保洁服务，服务实际操作的部分内容如下：

该公司把洁净级别较高的区域称作特殊区域，特殊区域有：黄光区、灰区、一般洁净区。特殊区域需要做的保洁服务工作内容与日常保洁的内容基本相同，但是专业仪器不让保 洁员管和动。

其中，黄光区对人的眼睛有刺激作用，所以在工作时间上有特殊的待遇。进人黄光区持续时间约lh后，要休息0.5h，并佩戴专业眼镜。

对保洁员没有特殊的要求，但是必须按照甲方编制的管理文件培训合格后，方能上岗进入洁净区工作。

控制洁净区卫生标准要求极高，必须通过空气测量仪评定达标状况。为了确保洁净区达到洁净标准，保洁操作流程、操作工艺、保洁员工操作动作的特殊规定由甲乙双方共同制 定，适应洁净区的要求并能具体实施。

比如：洁净室的地面要求员工用无尘布蹲着一块一块地擦，而且员工必须是往后退着擦，地面材料为环氧树脂；洁净室每天进行消毒，并规定了消毒的频次和时间；设备管道都 必须定期保洁，不能有死角。

洁净区和普通区域不同，按洁净区的防静电、防尘专业要求，洁净室有专用吸尘器、专用服装，不得用普通抹布，要用专用的一次性无尘布、无尘纸进行保洁操作，员工戴一次性 的专用帽子及口罩。

员工操作流程记录、检查记录、交接班记录指定专人管理，存放在指定地点。

由以上部分内容就可看出微电子企业的保洁要求有多么严格。