清洗过程中的干燥设备详解

干燥工艺

漂洗完成之后，洗净的物体表面仍附着一部分溶剂，干燥工艺是通过汽化的方法使溶剂去除获得清洁干燥表面的过程。

为使干燥顺利进行通常把洗净的物体在高温干燥环境中放置一段时间使其自然干燥。在工业清洗中为了提高干燥速度，往往通入温和的干燥热风进行干燥。干燥的速度主要由送入的空气温度、湿度、风速以及清洗对象表面温度等条件决定。如使用易燃、安全性差的溶剂作清洗剂时，使用的通风空气温度有一定限制。

清洗物体表面温度越高，干燥效率越高，对热传専效率比较低的清洗物体，漂洗工艺中温度保持较高对后续干燥工艺是有利的。提高风速有利于溶剂从清洗物体表面扩散和汽化蒸发。为了使清洗物体各个表面都受到均匀的风力作用，应该使清洗物体之间保持有一定的间隔，用气刀状喷嘴形成的强风速进行干燥，容易获得良好的效果。

对高沸点清洗溶剂或残存在清洗物体表面狭窄缝隙中的溶剂进行干燥时，使用真空干燥的方法效果较好。由于溶剂汽化时吸热会使清洗物体表面温度下降而不利于蒸发，因此在干燥之前应尽可能提高清洗物体的温度。

清洗干燥阶段应注意的问題

用水做漂洗剂时，在干燥阶段最易出现的问题是在清洗物体表面留下水斑。

由于水是价格便宜、溶解力强而且分散力强的液体，因此常被用作漂洗液。但水在干燥过程中会出现一些问题，首先因为沸点较高（100°C）而且汽化热大，所以干燥脱水时要耗费较多能量和较长时间。

漂洗用水中往往溶解有一些杂质，而水有很大表面张力。所以当水在清洗物体表面慢慢蒸发时，随着干燥的进行逐渐形成圆球状水滴并逐渐缩小半径，当最后水滴完全蒸发后就会在物体表面留下环状的水斑残迹。水斑是由溶在水中的杂质在水滴蒸发浓缩过程中残留下来的痕迹。

在工业精密清洗中不希望有水斑生成，因此要用洁净度高的纯水或超纯水做漂洗用水，但纯水仍含有微量杂质，还有生成水斑的可能。为解决水斑形成的问题，可采用风扇一刮刀状风压的方法进行干燥或采用离心力使表面附着的水被甩掉。

当清洗半导体硅片等平板状物体时可沿着与水平面垂直方向把浸在水中的物体慢慢拉上来离开水面并同时用热风进行干燥的方法。这种上拉干燥法可防止水滴在表面凝聚，阻止水斑生成很有效。为防止干燥过程形成水斑，也可以水漂洗后用低沸点有机溶剂把水置换去除再进行干燥。

氟氯烧蒸气清洗中的干燥处理

在有机溶剂中氟氯坯CFC-113是最适合用于蒸气清洗的溶剂。通常采用的工艺如下。

（1）蒸气清洗一加压喷射一蒸气干燥

在蒸气清洗槽中用CFC-113溶剂作清洗剂。利用被加热至沸腾产生的蒸气在冷工件表面冷凝，对工件表面油污产生浸洗作用使工件进行初步清洗。然后用蒸馆回收的洁净液体CFC-113溶剂在适当加压条件下对工件进行喷射清洗。最后把喷射清洗后的工件放在CFC-113蒸气中再次清洗，并使工件温度升高达到干燥目的。

（2）热浸一冷漂一喷洗一气洗干燥

首先将清洗物体浸入加热至沸腾的CFC-113溶剂中进行清洗，使工件表面大部分油污被洗掉，然后浸入清洁的温度较低的CFC-113溶剂中漂洗。漂洗之后再用洁净的CFC-113溶剂喷洗以去除残余的污垢，最后再用蒸气清洗并干燥。

（3）超声波浸洗一喷洗一气洗干燥

首先在带有超声波装置的CFC-113浸洗槽中处理，在超声波的强大空化作用下使顽固附着的污垢得以去除。再用洁净的CFC-113溶剂进行喷洗，最后放入蒸气清洗槽中进一步清洗并干燥。

由以上工艺可以看出，氟氯炷蒸气清洗在油垢不多的干燥阶段使用有较好效果。如果选择替代清洗剂，也要尽量达到同样、甚至更好的效果。